Для цитирования:

Хомич Н.С., Луговик А.Ю., Федорцев Р.В., Корзун А.Е., Кухто П.В. МОДЕЛИРОВАНИЕ КИНЕМАТИКИ ПРОЦЕССА МАГНИТНО-АБРАЗИВНОГО ПОЛИРОВАНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН. НАУКА и ТЕХНИКА. 2009;(1):32-38.

For citation:

Fedortsev R.V., Khomich N.S., Lougovik A.I., Korzun A.E., Kukhto P.V. KINEMATICS MODELING OF MAGNETIC AND ABRASIVE SILICON WAFER POLISHING. Science & Technique. 2009;(1):32-38. (In Russ.)