Для цитирования:

Маркевич М.И., Чапланов А.М., Щербакова Е.Н. ВЛИЯНИЕ ИМПУЛЬСНОГО ФОТОННОГО ОТЖИГА НА СТРУКТУРУ И ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ И ПЕРЕХОДНЫХ МЕТАЛЛОВ. . 2012;(5):13-16.

For citation:

Markevich M.I., Chaplanov A.M., Shcherbakova E.N. IMPULSE PHOTON ANNEALING EFFECT ON STRUCTURE AND PHASE COMPOSITION OF THIN FILM SYSTEMS ON BASIS OF SILICON AND TRANSITION METALS. . 2012;(5):13-16. (In Russ.)