Для цитирования:

Маркевич М.И., Чапланов А.М., Щербакова У.Н. ВЛИЯНИЕ ИМПУЛЬСНОГО ФОТОННОГО ОТЖИГА НА СТРУКТУРУ И ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ И ПЕРЕХОДНЫХ МЕТАЛЛОВ. НАУКА и ТЕХНИКА. 2013;(2):63-66.

For citation:

Markevich M.I., Chaplanov A.M., Scherbakova E.N. INFLUENCE OF IMPULSE PHOTON ANNEALING ON STRUCTURE AND PHASE COMPOSITION OF THIN-FILMED SYSTEMS ON BASIS OF SILICON AND TRANSITION METALS. Science & Technique. 2013;(2):63-66. (In Russ.)