Для цитирования:
Аваков С.М. ПРИМЕНЕНИЕ ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ АВТОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ПЛАНАРНЫХ СТРУКТУР В ПРОИЗВОДСТВЕ ОРИГИНАЛОВ ТОПОЛОГИИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ НА ФОТОШАБЛОНАХ. НАУКА и ТЕХНИКА. 2007;(6):64-70. https://doi.org/10.21122/2227-1031-2007-0-6-64-70
For citation:
Avakov S.M. APPLICATION OF EQUIPMENT FOR AUTOMATIC CONTROL OF PLANAR STRUCTURES IN MANUFACTURING MASTER MASKS OF INTEGRATED CIRCUITS ON PHOTO-MASKS. Science & Technique. 2007;(6):64-70. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2227-1031-2007-0-6-64-70