Preview

НАУКА и ТЕХНИКА

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Аваков С.М. ПРИМЕНЕНИЕ ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ АВТОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ПЛАНАРНЫХ СТРУКТУР В ПРОИЗВОДСТВЕ ОРИГИНАЛОВ ТОПОЛОГИИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ НА ФОТОШАБЛОНАХ. НАУКА и ТЕХНИКА. 2007;(6):64-70. https://doi.org/10.21122/2227-1031-2007-0-6-64-70

For citation:


Avakov S.M. APPLICATION OF EQUIPMENT FOR AUTOMATIC CONTROL OF PLANAR STRUCTURES IN MANUFACTURING MASTER MASKS OF INTEGRATED CIRCUITS ON PHOTO-MASKS. Science & Technique. 2007;(6):64-70. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2227-1031-2007-0-6-64-70

Просмотров: 248


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2227-1031 (Print)
ISSN 2414-0392 (Online)