Для цитирования:

Трапашко Г.А. Синтез оптоэлектронной системы установки контроля микроэлектронных структур. НАУКА и ТЕХНИКА. 2014;(1):38-43.

For citation:

Trapashko G.A. Synthesis оf Optoelectronic System for Control оf Microelectronic Structures. Science & Technique. 2014;(1):38-43. (In Russ.)