Синтез оптоэлектронной системы установки контроля микроэлектронных структур
Аннотация
Совершенствование оборудования для контроля размеров и формы микроэлектронных структур на соответствие проектным данным и отсутствие привнесенных в него дефектов и загрязнений требует развития оптоэлектронных систем регистрации изображений структурных элементов. Синтез этих систем можно осуществлять с помощью метода, позволяющего установить обоснованность использования в ней источника излучения и определить основные функциональные параметры оптоэлектронной системы. Приведены результаты использования метода при разработке оптоэлектронной системы, работающей с разрешением 250 нм. Показано, что в контрольном оборудовании можно применять светодиоды вместо традиционно используемых галогенных и ртутно-ксеноновых ламп.
Об авторе
Г. А. Трапашко
Научно-производственное республиканское унитарное предприятие «КБТЭМ-ОМО»
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Борн, М. Основы оптики / М. Борн, Э. Вольф. – М. : Наука, 1973.
2. Ultra High Resolution DUV Water Immersion Microscope Objective / W. Vollrath [et al.] // DGaO Proceedings. – 2005. – A28. – Р. 2.
3. Родионов, С. А. Основы оптики / С. А. Родионов. – СПб. : СПбГУ ИТМО (ТУ), 2000. – 167 с.
4. Гоноровский, И. С. Радиотехнические цепи и сигналы : учеб. для вузов / И. С. Гоноровский. – 4-е изд., перераб. и доп. – М. : Радио и связь, 1986. – 512 с.
5. Натаровский, С. Н. Методы проектирования современных оптических систем : учеб. пособие / С. Н. Натаровский. – СПб. : СПбГУ ИТМО, 2009. – 176 с.
6. Мирошников, М. М. Теоретические основы оптико-электронных приборов : учеб. пособие для вузов / М. М. Мирошников. – Л. : Машиностроение (Ленингр. отд.), 1977. – 600 с.
7. Якушенков, Ю. Г. Теория и расчет оптико-электронных приборов : учеб. для вузов / Ю. Г. Якушенков. – Изд. 3-е, перераб. и доп. – М. : Машиностроение, 1989. – 360 с.
8. Микроскопы / Г. Е. Скворцов [и др.]. – Л. : Машиностроение, 1969.
Рецензия
Для цитирования:
Трапашко Г.А. Синтез оптоэлектронной системы установки контроля микроэлектронных структур. НАУКА и ТЕХНИКА. 2014;(1):38-43.
For citation:
Trapashko G.A. Synthesis оf Optoelectronic System for Control оf Microelectronic Structures. Science & Technique. 2014;(1):38-43. (In Russ.)
Просмотров:
528
Послать статью по эл. почте 