OBTAINING LAYER NANO-COATINGS ON DIAMOND POWDERS IN PLANAR MAGNETRON
Abstract
The paper presents investigation results concerning evaluation of influence of technological parameters of composite cathode spraying in a planar magnetron spraying system on structure formation and properties of layer nano-coatings (Si + C) of diamond micro-powders. a-SiC formation reaction was proceeding in the nano-layer (up to 20nm) presenting Si + C atom or cluster mixture of amorphous structure being treated with glow-discharge plasma. The layer coating has been obtained as a result of subsequent deposition on it the following elements: Si + C and Al of the given thickness (up to 300nm and 10nm, respectively) and also outside layer of pyrolytic carbon. The coating has ensured diamond protection against graphitation while heating and formation of carbide-silicon matrix. The composite of silicon diamond-carbide obtained on the basis of diamond powders with a layer coating with the help of a method that presupposes impregnation with liquid silicon and reaction sintering is characterized by improved properties.
About the Authors
V. N. Kovalevsky
Belarusian National Technical University
I. V. Fomikhina
Belarusian National Technical University
A. V. Kovalevskaya
Belarusian National Technical University
S. V. Grigoriev
Belarusian National Technical University
A. E. Zhuk
Belarusian National Technical University
References
1. Гордеев, С. К. Композиты алмаз – карбид кремния, новые сверхтвердые конструкционные материалы для машиностроения / С. К. Гордеев // Вопросы материаловедения. – 2001. – № 3. – С. 31–40.
2. Особенности получения композиционных материалов алмаз – карбид кремния – кремний при низких давлениях / С. К. Гордеев [и др.] // Неорганические материалы. – 2001. – Т. 37, № 6. – С. 691–696.
3. Структурообразование карбидокремниевой матрицы в композиции алмаз – карбид кремния / В. Н. Ковалевский [и др.] // Огнеупоры и техническая керамика. – 2005. – № 5. – С. 8–14.
4. Моделирование и расчет параметров электрического разряда в планарном магнетроне / С. Г. Клопов [и др.] // Изв. РАН. Серия Физическая. – 2006. – Т. 70, № 8. – С. 1204–1209.
5. Устройство для получения металлических покрытий в вакууме : а. с. 1632089 СССР, МКИ С23С14/38 / Б. Л. Фигурин, В. И. Рулинский, И. М. Григорович. – № 4704940 ; заявл. 14.06.09 ; опубл. 28.02.90 // Открытия. Изобретения. – 1990. – № 8. – 198 с.
6. Плешивцнев, Н. В. Катодное распыление / Н. В. Плешивцнев. – М.: Атомиздат, 1968. – 343 с.
7. Гусев, Г. А. Тлеющий разряд в технологии ЭВП / Г. А. Гусев. – М. : ЦНИИэлектроники, 1980. – 38 с.
Review
For citations:
Kovalevsky V.N., Fomikhina I.V., Kovalevskaya A.V., Grigoriev S.V., Zhuk A.E. OBTAINING LAYER NANO-COATINGS ON DIAMOND POWDERS IN PLANAR MAGNETRON. Science & Technique. 2008;(5):40-46. (In Russ.)
Views:
1590
Email this article 