ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ПРИ РЕЗКЕ СЛИТКОВ НА ПЛАСТИНЫ
Аннотация
Представлены сравнительные результаты использования резки монокристаллического кремния алмазным кругом с внутренней режущей кромкой (АКВР) и многопроволочной резки. Показано, что по проценту выхода годных пластин использование метода многопроволочной резки не уступает методу резки кругами АКВР, а по фактическому расходу кремния на одну пластину превосходит метод дисковой резки. Процесс многопроволочной резки характеризуется высокой точностью, воспроизводимостью, производительностью и обеспечивает существенную экономию дорогостоящего монокристаллического кремния.
Об авторах
В. К. Шелег
Белорусский национальный технический университет
Доктор технических наук, профессор
А. Е. Корзун
Белорусский национальный технический университет
С. Э. Крайко
Белорусский национальный технический университет
Список литературы
1. Особенности обработки пластин кремния большого диаметра / С. В. Петров [и др.] // Электронная промышленность. – 2003. – № 3. – С. 24–32.
2. Повышение эффективности резки слитков монокристаллов на пластины / Н. А. Большаков [и др.] // Электронная промышленность. – 2003. – № 3. – С. 139–146.
3. Готра, З. Ю. Технология микроэлектронных устройств: справ. / З. Ю. Готра. – М. : Радио и связь, 1991. – 528 с.
4. Запорожский, В. П. Обработка полупроводниковых материалов / В. П. Запорожский, Б. А. Лапшинов. – М. : Высш. шк., 1988. – 184 с.
Рецензия
Для цитирования:
Шелег В.К., Корзун А.Е., Крайко С.Э. ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ПРИ РЕЗКЕ СЛИТКОВ НА ПЛАСТИНЫ. НАУКА и ТЕХНИКА. 2009;(2):20-25.
For citation:
Sheleg V.K., Korzun A.E., Kraiko S.E. HIGHER EFFICIENCY IN USAGE OF MONO-CRYSTAL SILICON WHILE CUTTING INGOTS IN PLATES. Science & Technique. 2009;(2):20-25. (In Russ.)
Просмотров:
622
Послать статью по эл. почте 