Effect of Spraying Regimes on Properties of Amorphous Carbon Coatings
Abstract
The paper investigates the effect of condensation energy of emissioned flux of monatomic carbon, created by magnetronic dispersion, on properties of amorphous carbon coatings. While increasing discharge current from 0,5 up to 2,5 A coating density is increased from 2,3 up to 3,2 g/cm3. Finishing treatment of coatings in glow discharge (U = 1250 V; / = 0,15 A; t = 15 min) ensures hardness increase by 40 %. Electrical resistance of a coating is going up while increasing distance between the sprayed cathode and substrate.
About the Authors
V. N. Kovalevsky
Belarusian National Technical University
Belarus
Belarus
B. L. Figuryn
Belarusian National Technical University
Belarus
Belarus
K. B. Figuryn
Belarusian National Technical University
Belarus
Belarus
References
1. Фигурин Б. Л., Вершина А. К. Осаждение углеродных пленок в условиях низкоэнергетичных потоков частиц // Порошковая металлургия: Респуб. межведомств, сб. науч. тр. - Мн.: Вышэйш. шк., 1995. - Вып. 18. - С 118-120.
2. Фигурин К. Б., Фигурин Б. Л., Ковалевский В. Н. Стереологические особенности конденсируемого потока при магнетронном распылении // Вестник БГГІА. - № 3. - Вып. 3. - С. 39-42.
3. Hsiao Chti Tsai, Bogy D. В. Characterization of diamond-like films and their application as overcoats on thinfilm media for magnetic recording // J. Vac. Sci. Technol. 1987.-Vol. 5, №6.-P.3287-3312.
4. Ковалевский В. H., Фигурин Б. Л., Фигурин К. Б. Исследование эмиссионных процессов в плазме тлеющего разряда и их адаптация к магнетронным распылительным системам // Металлургия: Респуб. межвед. сб. науч. тр. - Мн.: Вышэйш. шк., 2002. - Вып. 26. - С. 87-91.
Review
For citations:
Kovalevsky V.N., Figuryn B.L., Figuryn K.B. Effect of Spraying Regimes on Properties of Amorphous Carbon Coatings. Science & Technique. 2003;(5):22-24. (In Russ.)
Views:
1267
Email this article 