Влияние режимов напыления на свойства аморфных углеродных покрытий
Аннотация
Изучено влияние энергии конденсации эмиссируемого потока атомарного углерода, создаваемого магнетронным распылением, на свойства аморфных углеродных покрытий. При увеличении тока разряда с 0,5 до 2,5 А повышается плотность покрытия с 2,3 до 3,2 г/см3. Финишная обработка покрытий в тлеющем разряде (U = 1250 В; /= 0,15 А; т = 15 мин) обеспечивает увеличение твердости на 40 %. Электрическое сопротивление покрытия возрастает при увеличении расстояния между распыляемым катодом и подложкой.
Об авторах
В. Н. Ковалевский
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Доктор технических наук
Беларусь
Доктор технических наук
Б. Л. Фигурин
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Кандидат технических наук
Беларусь
Кандидат технических наук
К. Б. Фигурин
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Фигурин Б. Л., Вершина А. К. Осаждение углеродных пленок в условиях низкоэнергетичных потоков частиц // Порошковая металлургия: Респуб. межведомств, сб. науч. тр. - Мн.: Вышэйш. шк., 1995. - Вып. 18. - С 118-120.
2. Фигурин К. Б., Фигурин Б. Л., Ковалевский В. Н. Стереологические особенности конденсируемого потока при магнетронном распылении // Вестник БГГІА. - № 3. - Вып. 3. - С. 39-42.
3. Hsiao Chti Tsai, Bogy D. В. Characterization of diamond-like films and their application as overcoats on thinfilm media for magnetic recording // J. Vac. Sci. Technol. 1987.-Vol. 5, №6.-P.3287-3312.
4. Ковалевский В. H., Фигурин Б. Л., Фигурин К. Б. Исследование эмиссионных процессов в плазме тлеющего разряда и их адаптация к магнетронным распылительным системам // Металлургия: Респуб. межвед. сб. науч. тр. - Мн.: Вышэйш. шк., 2002. - Вып. 26. - С. 87-91.
Рецензия
Для цитирования:
Ковалевский В.Н., Фигурин Б.Л., Фигурин К.Б. Влияние режимов напыления на свойства аморфных углеродных покрытий. НАУКА и ТЕХНИКА. 2003;(5):22-24.
For citation:
Kovalevsky V.N., Figuryn B.L., Figuryn K.B. Effect of Spraying Regimes on Properties of Amorphous Carbon Coatings. Science & Technique. 2003;(5):22-24. (In Russ.)
Просмотров:
1258
Послать статью по эл. почте 