Для цитирования:

Солодуха В.А., Белоус А.И., Чигирь Г.Г. ИЗМЕРЕНИЕ ГЛУБИНЫ НАРУШЕННОГО СЛОЯ НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН МЕТОДОМ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИИ. НАУКА и ТЕХНИКА. 2016;15(4):329-334. https://doi.org/10.21122/2227-1031-2016-15-4-329-334

For citation:

Solodukha V.A., Belous A.I., Chyhir G.G. DEPTH MEASUREMENT OF DISRUPTED LAYER ON SILICON WAFER SURFACE USING AUGER SPECTROSCOPY METHOD. Science & Technique. 2016;15(4):329-334. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2227-1031-2016-15-4-329-334