Для цитирования:
Дайняк И.В., Карпович С.Е., Кекиш Н.И., Голдын Л. ПРЕЦИЗИОННАЯ СИСТЕМА ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ДЛЯ ОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ. НАУКА и ТЕХНИКА. 2015;(4):24-32.
For citation:
Dainiak I.V., Karpovich S.E., Kekish N.I., Goldyn L. PRECISION MOTION SYSTEM FOR OPTO-MECHANICAL EQUIPMENT OF MICROELECTRONICS. Science & Technique. 2015;(4):24-32. (In Russ.)