Preview

НАУКА и ТЕХНИКА

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Дайняк И.В., Карпович С.Е., Кекиш Н.И., Голдын Л. ПРЕЦИЗИОННАЯ СИСТЕМА ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ДЛЯ ОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ. НАУКА и ТЕХНИКА. 2015;(4):24-32.

For citation:


Dainiak I.V., Karpovich S.E., Kekish N.I., Goldyn L. PRECISION MOTION SYSTEM FOR OPTO-MECHANICAL EQUIPMENT OF MICROELECTRONICS. Science & Technique. 2015;(4):24-32. (In Russ.)

Просмотров: 424


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2227-1031 (Print)
ISSN 2414-0392 (Online)