Для цитирования:

Аваков С.М. МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ СУБПИКСЕЛЬНОГО РАЗРЕШЕНИЯ ПРИ АВТОМАТИЧЕСКОМ КОНТРОЛЕ ОРИГИНАЛОВ ТОПОЛОГИИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ. НАУКА и ТЕХНИКА. 2008;(1):44-49.

For citation:

Avakov S.M. METHODS FOR OBTAINING SUB-PIXEL RESOLUTION DURING AUTOMATIC INSPECTION OF PATTERN MASTER MASKS OF INTEGRATED CIRCUITS. Science & Technique. 2008;(1):44-49. (In Russ.)