МЕХАНИЗМЫ ОБРАЗОВАНИЯ СЛОИСТЫХ МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ КАРБИДА КРЕМНИЯ
Аннотация
Изучены закономерности структурообразования в тонкопленочном покрытии, наносимом на кристаллы алмаза магнетронным распылением комбинированного катода (Si + C). Установлено, что в процессе конденсации тонкопленочного покрытия (до 20 нм) формируется аморфный слой из смеси атомов Si и C, обработка которого плазмой тлеющего разряда сопровождается воздействием частиц плазмы с формированием поверхностных волн, что способствует перемещению активных атомов углерода и образованию более сильной связи Si–C. В покрытиях (Si + C) толщиной свыше 100 нм структурообразование протекает по диффузионному механизму при низких температурах (650–850 ºС) с образованием α-SiC с аморфным слоем. Твердофазное реакционное спекание простых элементов (кремния и углерода) в нанопокрытиях, полученных на алмазных порошках, позволяет изготовить композиты из таких порошков с заданным комплексом свойств за счет управления строением зоны соединения частиц на атомном и кластерном уровнях.
Об авторах
В. Н. Ковалевский
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Беларусь
Доктор технических наук, профессор
А. Е. Жук
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Беларусь
Инженер
Список литературы
1. Структурообразование карбидокремниевой матрицы в композиции алмаз – карбид кремния / В. Н. Ковалевский [и др.] // Огнеупоры и техническая керамика. – 2005. – № 5. – С. 8–14.
2. Ковнеристый, Ю. К. Физико-химические основы создания аморфных металлических сплавов / Ю. К. Ковнеристый, Э. К. Осипов, Е. А. Трофимова. – М. : Наука, 1983. – 144 с.
3. Bernal, J. D. Structure and properties of liquid / J. D. Bernal. – London, 1965. – P. 25.
4. Аморфные сплавы / А. И. Манохин [и др.]. – М. : Металлургия, 1984. – 160 с.
5. Моделирование и расчет параметров электрического разряда в планарном магнетроне / С. Г. Клопов [и др.] // Известия РАН. Сер. физическая. – 2006. – Т. 70, № 8. – С. 1204–1209.
6. Ковалевский, В. Н. Влияние режимов напыления на свойства аморфных углеродных покрытий / В. Н. Ковалевский, Б. Л. Фигурин, К. Б. Фигурин // Вестник БНТУ. –2003. – № 5. – С. 22–24.
7. Костиков, В. И. Сверхвысокотемпературные композиционные материалы / В. И. Костиков, А. Н. Варенков. – М. : Интермет Инжиниринг, 2003. – 506 с.
Рецензия
Для цитирования:
Ковалевский В.Н., Жук А.Е. МЕХАНИЗМЫ ОБРАЗОВАНИЯ СЛОИСТЫХ МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ КАРБИДА КРЕМНИЯ. НАУКА и ТЕХНИКА. 2010;(6):42-47.
For citation:
Kovalevsky V.N., Zhuk A.E. MECHANISMS OF MULTI-FUNCTIONAL LAYER COATINGS BASED ON SILICON CARBIDE. Science & Technique. 2010;(6):42-47. (In Russ.)
Просмотров:
783
JATS XML
Послать статью по эл. почте 