КАЛИБРОВКА УСТАНОВОК ИЗМЕРЕНИЙ РАЗМЕРОВ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ СТРУКТУР
Аннотация
Развитие микроэлектроники требует решения проблемы обеспечения единства линейных измерений в субмикронном диапазоне. Этого можно достичь, если проводить калибровку измерительных устройств по эталонным образцам – мерам малой длины.
При калибровке измерительного оборудования с помощью эталонной меры важно исследовать составляющие точности метода и их влияние на результат измерений. Рассмотрены методические погрешности, характерные для методов оптической и атомно-силовой микроскопии. Приведены результаты калибровки оптического измерительного микроскопа. Показано, что для оптического измерительного микроскопа аддитивная погрешность зависит от параметров материала и формы измеряемых элементов. Методическая погрешность атомно-силовых микроскопов определяется формой острия зонда. Рассмотрены меры малой длины, используемые для калибровки оптических и атомно-силовых микроскопов. Сформулированы рекомендации пользователям измерительного оборудования.
Список литературы
1. https://wwws,nist,gov/srmors/certificates/view_certGIF,cfm?certificate=2059
2. Тодуа, П. А. Метрология в нанотехнологии / П. А. Тодуа // Российские нанотехнологии. – 2007. – Т. 2, № 1–2. – С. 61–69.
3. http://www.gostbaza.ru/?a=001.017.040.001
Рецензия
Для цитирования:
Трапашко Г.А. КАЛИБРОВКА УСТАНОВОК ИЗМЕРЕНИЙ РАЗМЕРОВ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ СТРУКТУР. НАУКА и ТЕХНИКА. 2012;(4):22-30.
For citation:
Trapashko G. CALIBRATION OF DEVICES FOR MEASURING ELEMENTS OF MICRO-ELECTRONIC STRUCTURES. Science & Technique. 2012;(4):22-30. (In Russ.)
Просмотров:
550
Послать статью по эл. почте 