Для цитирования:

Трапашко Г.А. КАЛИБРОВКА УСТАНОВОК ИЗМЕРЕНИЙ РАЗМЕРОВ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ СТРУКТУР. НАУКА и ТЕХНИКА. 2012;(4):22-30.

For citation:

Trapashko G. CALIBRATION OF DEVICES FOR MEASURING ELEMENTS OF MICRO-ELECTRONIC STRUCTURES. Science & Technique. 2012;(4):22-30. (In Russ.)