Для цитирования:
Сычик В.А., Горожданов А.Д., Уласюк Н.Н., Владимирова С.С. АНАЛИЗ МЕТОДОВ МОДЕЛИРОВАНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ. НАУКА и ТЕХНИКА. 2002;(5):50-54.
Сычик В.А., Горожданов А.Д., Уласюк Н.Н., Владимирова С.С. АНАЛИЗ МЕТОДОВ МОДЕЛИРОВАНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ. НАУКА и ТЕХНИКА. 2002;(5):50-54.