ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ СТРУКТУРЫ НА КОЭФФИЦИЕНТ ТРЕНИЯ МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ

Аннотация

Показано, что при относительно низких значениях ускоряющего потенциала (U_осн= = 0–100 В) формирование покрытий металл – кремний – азот происходит в условиях отсутствия химических реакций образования нитридов. Увеличение до U_осн = –(150–250) В ведет к росту концентрации азота на фронте кристаллизации, что изменяет термодинамические условия роста зерен покрытия и способствует выделению обогащенного азотом слоя в виде прослоек. Увеличение давления технологического газа (азота или аргона) способствует росту шероховатости поверхности осаждаемых покрытий. Установлено, что наилучшие фрикционные свойства покрытий получены при трении по закаленной стали 40Х. При использовании в качестве контртела более вязкого материала (из незакаленной стали 45) наблюдается рост коэффициента трения. Наименьшей и наиболее стабильной величиной коэффициента трения (0,22 при трении по незакаленной стали 45 и 0,2 – по закаленной стали 40Х) обладает инструментальное покрытие ZrSiN, осаждаемое при U_осн = –150 В и имеющее послойную структуру.