Синтез оптоэлектронной системы установки контроля микроэлектронных структур

Полный текст:


Аннотация

Совершенствование оборудования для контроля размеров и формы микроэлектронных структур на соответствие проектным данным и отсутствие привнесенных в него дефектов и загрязнений требует развития оптоэлектронных систем регистрации изображений структурных элементов. Синтез этих систем можно осуществлять с помощью метода, позволяющего установить обоснованность использования в ней источника излучения и определить основные функциональные параметры оптоэлектронной системы. Приведены результаты использования метода при разработке оптоэлектронной системы, работающей с разрешением 250 нм. Показано, что в контрольном оборудовании можно применять светодиоды вместо традиционно используемых галогенных и ртутно-ксеноновых ламп.

Об авторе

Г. А. Трапашко
Научно-производственное республиканское унитарное предприятие «КБТЭМ-ОМО»
Беларусь


Список литературы

1. Борн, М. Основы оптики / М. Борн, Э. Вольф. – М. : Наука, 1973.

2. Ultra High Resolution DUV Water Immersion Microscope Objective / W. Vollrath [et al.] // DGaO Proceedings. – 2005. – A28. – Р. 2.

3. Родионов, С. А. Основы оптики / С. А. Родионов. – СПб. : СПбГУ ИТМО (ТУ), 2000. – 167 с.

4. Гоноровский, И. С. Радиотехнические цепи и сигналы : учеб. для вузов / И. С. Гоноровский. – 4-е изд., перераб. и доп. – М. : Радио и связь, 1986. – 512 с.

5. Натаровский, С. Н. Методы проектирования современных оптических систем : учеб. пособие / С. Н. Натаровский. – СПб. : СПбГУ ИТМО, 2009. – 176 с.

6. Мирошников, М. М. Теоретические основы оптико-электронных приборов : учеб. пособие для вузов / М. М. Мирошников. – Л. : Машиностроение (Ленингр. отд.), 1977. – 600 с.

7. Якушенков, Ю. Г. Теория и расчет оптико-электронных приборов : учеб. для вузов / Ю. Г. Якушенков. – Изд. 3-е, перераб. и доп. – М. : Машиностроение, 1989. – 360 с.

8. Микроскопы / Г. Е. Скворцов [и др.]. – Л. : Машиностроение, 1969.


Дополнительные файлы

Для цитирования: Трапашко Г.А. Синтез оптоэлектронной системы установки контроля микроэлектронных структур. НАУКА и ТЕХНИКА. 2014;(1):38-43.

For citation: Trapashko G.A. Synthesis оf Optoelectronic System for Control оf Microelectronic Structures. Science & Technique. 2014;(1):38-43. (In Russ.)

Просмотров: 131

Обратные ссылки

  • Обратные ссылки не определены.


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.

ISSN 2227-1031 (Print)
ISSN 2414-0392 (Online)