Полноэкранный режим

Для цитирования: Солодуха В.А., Белоус А.И., Чигирь Г.Г. ИЗМЕРЕНИЕ ГЛУБИНЫ НАРУШЕННОГО СЛОЯ НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН МЕТОДОМ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИИ. НАУКА и ТЕХНИКА. 2016;15(4):329-334. DOI:10.21122/2227-1031-2016-15-4-329-334

For citation: Solodukha V.A., Belous A.I., Chyhir G.G. DEPTH MEASUREMENT OF DISRUPTED LAYER ON SILICON WAFER SURFACE USING AUGER SPECTROSCOPY METHOD. Science & Technique. 2016;15(4):329-334. (In Russ.) DOI:10.21122/2227-1031-2016-15-4-329-334

Просмотров: 176

Обратные ссылки

  • Обратные ссылки не определены.


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.

ISSN 2227-1031 (Print)
ISSN 2414-0392 (Online)