Полноэкранный режим

Для цитирования: Хомич Н.С., Луговик А.Ю., Федорцев Р.В., Корзун А.Е., Кухто П.В. МОДЕЛИРОВАНИЕ КИНЕМАТИКИ ПРОЦЕССА МАГНИТНО-АБРАЗИВНОГО ПОЛИРОВАНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН. НАУКА и ТЕХНИКА. 2009;(1):32-38.

For citation: Fedortsev R.V., Khomich N.S., Lougovik A.I., Korzun A.E., Kukhto P.V. KINEMATICS MODELING OF MAGNETIC AND ABRASIVE SILICON WAFER POLISHING. Science & Technique. 2009;(1):32-38. (In Russ.)

Просмотров: 164

Обратные ссылки

  • Обратные ссылки не определены.


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.

ISSN 2227-1031 (Print)
ISSN 2414-0392 (Online)