МЕХАНИЗМЫ ОБРАЗОВАНИЯ СЛОИСТЫХ МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ КАРБИДА КРЕМНИЯ

Полный текст:


Аннотация

Изучены закономерности структурообразования в тонкопленочном покрытии, наносимом на кристаллы алмаза магнетронным распылением комбинированного катода (Si + C). Установлено, что в процессе конденсации тонкопленочного покрытия (до 20 нм) формируется аморфный слой из смеси атомов Si и C, обработка которого плазмой тлеющего разряда сопровождается воздействием частиц плазмы с формированием поверхностных волн, что способствует перемещению активных атомов углерода  и  образованию  более  сильной  связи  Si–C.  В покрытиях (Si + C) толщиной свыше 100 нм структурообразование протекает по диффузионному механизму при низких температурах (650–850 ºС) с образованием α-SiC с аморфным слоем. Твердофазное реакционное спекание простых элементов (кремния и углерода) в нанопокрытиях, полученных на алмазных порошках, позволяет изготовить композиты из таких порошков с заданным комплексом свойств за счет управления строением зоны соединения частиц на атомном и кластерном уровнях.


Об авторах

В. Н. Ковалевский
Белорусский национальный технический университет

Доктор технических наук, профессор



А. Е. Жук
Белорусский национальный технический университет
Инженер


Список литературы

1. Структурообразование карбидокремниевой матрицы в композиции алмаз – карбид кремния / В. Н. Ковалевский [и др.] // Огнеупоры и техническая керамика. – 2005. – № 5. – С. 8–14.

2. Ковнеристый, Ю. К. Физико-химические основы создания аморфных металлических сплавов / Ю. К. Ковнеристый, Э. К. Осипов, Е. А. Трофимова. – М. : Наука, 1983. – 144 с.

3. Bernal, J. D. Structure and properties of liquid / J. D. Bernal. – London, 1965. – P. 25.

4. Аморфные сплавы / А. И. Манохин [и др.]. – М. : Металлургия, 1984. – 160 с.

5. Моделирование и расчет параметров электрического разряда в планарном магнетроне / С. Г. Клопов [и др.] // Известия РАН. Сер. физическая. – 2006. – Т. 70, № 8. – С. 1204–1209.

6. Ковалевский, В. Н. Влияние режимов напыления на свойства аморфных углеродных покрытий / В. Н. Ковалевский, Б. Л. Фигурин, К. Б. Фигурин // Вестник БНТУ. –2003. – № 5. – С. 22–24.

7. Костиков, В. И. Сверхвысокотемпературные композиционные материалы / В. И. Костиков, А. Н. Варенков. – М. : Интермет Инжиниринг, 2003. – 506 с.


Дополнительные файлы

Для цитирования: Ковалевский В.Н., Жук А.Е. МЕХАНИЗМЫ ОБРАЗОВАНИЯ СЛОИСТЫХ МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ КАРБИДА КРЕМНИЯ. НАУКА и ТЕХНИКА. 2010;(6):42-47.

For citation: Kovalevsky V.N., Zhuk A.E. MECHANISMS OF MULTI-FUNCTIONAL LAYER COATINGS BASED ON SILICON CARBIDE. Science & Technique. 2010;(6):42-47. (In Russ.)

Просмотров: 165

Обратные ссылки

  • Обратные ссылки не определены.


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.

ISSN 2227-1031 (Print)
ISSN 2414-0392 (Online)