Полноэкранный режим

Для цитирования: Маркевич М.И., Чапланов А.М., Щербакова Е.Н. ВЛИЯНИЕ ИМПУЛЬСНОГО ФОТОННОГО ОТЖИГА НА СТРУКТУРУ И ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ И ПЕРЕХОДНЫХ МЕТАЛЛОВ. НАУКА и ТЕХНИКА. 2012;(5):13-16.

For citation: Markevich M., Chaplanov A., Shcherbakova E. IMPULSE PHOTON ANNEALING EFFECT ON STRUCTURE AND PHASE COMPOSITION OF THIN FILM SYSTEMS ON BASIS OF SILICON AND TRANSITION METALS. Science & Technique. 2012;(5):13-16. (In Russ.)

Просмотров: 149

Обратные ссылки

  • Обратные ссылки не определены.


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.

ISSN 2227-1031 (Print)
ISSN 2414-0392 (Online)